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西格瑪精密平臺（壓電陶瓷）
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產品編號
所屬分類
壓電陶瓷
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產品詳細描述
參數
采用了獨特的數字位移傳感器，實現了高精度·高剛性·高速度和理論分辨率達1nm的壓電陶瓷平臺。
?采用了獨特的數字位移傳感器，可實現高精度·高剛性·高速度的壓電陶瓷平臺。
?采用壓電陶瓷作為驅動機構，環控制時的行程為90μm?100μm，理論分辨率達1nm。
?位置檢測采用了數字位移傳感器（頻率→數字變換方式的微小位移傳感器），閉環控制時的顯示分辨率為10nm。
?使用FINE系列控制器，可實現高速定位。
?重復驅動SFS-H（直動）系列平臺，可達10?15Hz的頻率。使用FINE-01γ的 模擬信號驅動時，可達25Hz。
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中空型XY壓電陶瓷平臺
