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納米級自動定位平臺

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單軸壓電掃描臺

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單軸壓電掃描臺

單軸壓電掃描臺經典納米定位系統超高精度應用于高動態性能場合采用PICMA壓電觸動，高可靠性采用電容傳感器，納米測量范

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產品詳細描述

參數

單軸壓電掃描臺
經典納米定位系統
超高精度應用于高動態性能場合采用PICMA壓電觸動，高可靠性采用電容傳感器，納米測量范圍內獲得高位置精度及高可靠性無摩擦，柔性鉸鏈機構回程差為零
P-752
超高導向精度
尺寸：66~84×40×13.5 mm ；	重復精度：±1~±2nm；
閉環行程：15~30μm；	角度串擾（θY/θZ）：±1μrad；
負載：30N；	剛度：30N/μm；
閉環分辨率：0.1nm；	無負載下自振頻率：達3200Hz。
線性度：0.03%；	點擊下載詳細指標

P-753
LISA觸動及納米掃描臺：可水平向和豎直向運動
	尺寸：44~80×30×15 mm ；	重復精度：±1~±3nm；
	閉環行程：12~38μm；	剛度：45N/μm；
	負載：100N垂直方向使用，20N水平方向使用；	角度串擾（θY/θZ）：±5~±10μrad；
	閉環分辨率：0.05到0.2nm；	無負載下自振頻率：達5600Hz。
	線性度：0.03%；	點擊下載詳細指標

P-750
適用于大負載
尺寸：115×115×25 mm ；	重復精度：±3nm；
閉環行程：75μm；	角度串擾（θY/θZ）：±10μrad；
負載：100N；	剛度：12.5N/μm；
閉環分辨率：1nm；	無負載下自振頻率：達600Hz。
線性度：0.03%；	點擊下載詳細指標

P-620~P-629
PIHera：提供XY和Z向版本
	尺寸：30×30×12 ~100×100×22.5 mm ；	角度串擾（θY/θZ）：±3~±10μrad；
	閉環行程：50~1500μm；	重復精度：±1nm；
	負載：10N；	剛度：0.4N/μm；
	閉環分辨率：0.2nm；	無負載下自振頻率：達1100Hz。
	線性度：0.02%；	點擊下載詳細指標

壓電陶瓷Z向掃描臺
豎直向運動，緊湊型精密定位臺
無摩擦，柔性鉸鏈機構回程差為零采用PICMA壓電觸動，高可靠性提供開始設計版本
P-620.Z/P-621.Z/P-622.Z
結合長行程應用的高精度平臺	PIHera：提供XY和Z向版本
尺寸：30×30×15 ~50×50×17.5mm；	重復精度：±1nm；
閉環行程：達250μm；	角度串擾（θY/θZ）：<80μrad；
負載：10N；	剛度：達0.6N/μm；
傳感器：電容傳感器；	無負載下自振頻率：達1000Hz。
閉環分辨率：達0.1nm；	點擊下載詳細指標
線性度：0.02%；

P-611.Z
高性價比	提供X，XY和XZ向版本
	尺寸：44×44×27 mm ；	重復精度：<10nm；
	負載：15N；	角度串擾（θY/θZ）：±20μrad；
	閉環行程：100μm；	剛度：達0.45N/μm；
	傳感器：應變片傳感器；	無負載下自振頻率：達460Hz。
	閉環分辨率：2nm；	點擊下載詳細指標
	線性度：0.1%；

P-612.Z
帶通孔緊湊型版本	提供XY向版本
尺寸：60×60×27 mm ；	線性度：0.2%；
閉環行程：100μm；	重復精度：±4nm；
負載：15N；	剛度：0.63N/μm；
傳感器：應變片傳感器；	無負載下自振頻率：490Hz。
閉環分辨率：1.5nm；	點擊下載詳細指標

S-303
高動態壓電移相平臺	在開環應用中采用Picoactuator版本獲得高線性度
	尺寸：直徑30×10mm，開環版本帶直徑8mm通孔	線性度：1%；
	閉環行程：2μm；	重復精度：0.7nm；
	負載：0.5N；	無負載下自振頻率：25000Hz。
	傳感器：電容傳感器；	點擊下載詳細指標
	閉環分辨率：0.03nm；

Z向和Tip/Tilt壓電掃描臺
超大通孔
毫秒級單步穩定時間多軸運動超高精度并聯機構無摩擦，柔性鉸鏈機構回程差為零采用PICMA壓電觸動，高可靠性
P-541.ZC/P-541.TC
參考版	提供XY向版本
尺寸：150×150×16.5 mm ；	tip/tilt分辨率：0.08μrad；
運動軸：Z，θX，θY；	線性度：0.03%；
中孔：66×66mm；	重復精度：±2nm；
閉環行程：100μm；	角度串擾（θY/θZ）：<15μrad；
閉環tip/tilt行程θX，θY：±0.6mrad；	剛度：0.8N/μm；
負載：50N；	無負載下自振頻率：410Hz。
傳感器：電容傳感器；	點擊下載詳細指標
閉環分辨率：0.5nm；

P-541.ZS/P-541.TS
精密版	提供XY向版本
	尺寸：150×150×16.5 mm ；	tip/tilt分辨率：0.25μrad；
	運動軸：Z，θX，θY；	線性度：0.2%；
	中孔：66×66mm；	重復精度：±10nm；
	閉環行程：100μm；	角度串擾（θY/θZ）：<15μrad；
	閉環tip/tilt行程θX，θY：±0.6mrad；	剛度：0.8N/μm；
	負載：50N；	無負載下自振頻率：410Hz。
	傳感器：應變片傳感器；	點擊下載詳細指標
	閉環分辨率：2.5nm；

P-733.Z
超高導向精度參考版	提供XY向，XYZ向版本，及真空版
尺寸：100×100×25 mm ；	線性度：0.03%；
運動軸：Z；中孔：50×50mm；	重復精度：±2nm；
閉環行程：100μm；	角度串擾（θY/θZ）：<5μrad；
負載：50N；	剛度：2.5N/μm；
傳感器：電容傳感器；	無負載下自振頻率：700Hz。
閉環分辨率：0.3nm；	點擊下載詳細指標

P-518/P-528/P-558
在Z向和偏擺向高動態響應特性參考版	提供XY向，XYZ向版本，及真空版
	尺寸：150×150×30 mm ；	tip/tilt分辨率：0.05μrad；
	運動軸：Z和Z，θX，θY；	線性度：0.03%；
	中孔：66×66mm；	重復精度：達±5nm；
	閉環行程：達200μm；	角度串擾（θY/θZ）：<100μrad；
	閉環tip/tilt行程θX，θY：±1mrad；	剛度：達4N/μm；
	負載：100N；	無負載下自振頻率：達570Hz。
	傳感器：電容傳感器；	點擊下載詳細指標
	閉環分辨率：1nm；

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中空型XY壓電陶瓷平臺

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中空型XY壓電陶瓷平臺

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